Titre : | Microanalyse d'échantillons de silicium par rétrodiffusion d'ions He⁺ d'énergie 2MeV et émission x induite par des protons et des particules alpha |
Auteurs : | Benguerba, Messaoud, Auteur ; Amokrane, Arezki, Auteur |
Type de document : | texte imprimé |
Editeur : | Alger : Université des Sciences et de la Technologie Houari Boumedienne, 1980 |
Format : | 107 f. / ill. / 30 cm. |
Note générale : |
Thèse de Doctorat: Sciences physique nucléaire: Alger, Université des Sciences et de la Technologie Houari Boumedienne: 1980
Bibliogr. f. 108-103 |
Langues: | Français |
Index. décimale : | 539.725 (Caractéristiques des particules (physique nucléaire)) |
Mots-clés: | Silicium : Composés ; Microanalyse par émission X ; Protons |
Résumé : |
Nous avons essayé de montrer dans le présent travail la complémentarité entre ces deux méthodes que nous avons appliquées à l'analyse d'échantillon de silicium, ces échantillons étaient fournis sous forme de poudre par un laboratoire de l'Université des Sciences et de la technologie d'Oran, travaillant sur la fabrication du silicium.
La première étape du travail a consisté en la préparation des cibles adéquates à partir des échantillons initiaux, soit par partillage, soit par évaporation, donc dans la deuxième étape nous avons analysé les échantillons en observant les raies X caractéristiques induites par des protons d'énergie 1,5 Mev, 2 Mev, et 2,5 Mev, et l'analyse par rétrodiffusion d'ions He à 2 Mev a complété les mesures précédentes. Dans le premier chapitre nous exposons les principes de la micro-analyse par excitation atomique et par rétrodiffusion ainsi que leurs domaines d'utilisation et leurs limites. Le second chapitre est réservé au dispositif expérimental, l'étalonnage de la chaîne de détection et la préparation des échantillons, puis dans le troisième chapitre nous présentons l'analyse et discussion des résultats expérimentaux obtenus à partir des deux méthodes, enfin les méthodes d'analyse par rétrodiffusion et par émission X induite, apparaissent comme complémentaire et constitue des outils puissants d'analyse des couches minces. |
Exemplaires (1)
Code-barres | Cote | Support | Localisation | Section | Disponibilité |
---|---|---|---|---|---|
E4.33019.00/1 | E4.33019.00 | Thèses | B. Magasin des Thèses et PFE | Thèses étrangères | Consultation sur place Exclu du prêt |